眾所周知，荷蘭艾司摩爾（ASML）光刻機(jī)一直是半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵設(shè)備，尤其[敏感詞]生產(chǎn)的極紫外光刻機(jī)（EUV）更是不可或缺，也是協(xié)助臺(tái)積電、三星、英特爾能往更先進(jìn)制程發(fā)展的重要設(shè)備，美國(guó)限制中國(guó)大陸無(wú)法取得EUV光刻機(jī)，壓制中國(guó)大陸半導(dǎo)體發(fā)展。
近日，路透社專訪技術(shù)了ASML開(kāi)發(fā)副總裁Tony Yen，對(duì)ASML 的經(jīng)營(yíng)、文化、產(chǎn)品發(fā)展進(jìn)行了一番解析。
問(wèn)：您如何描述ASML EUV 及功能。 答：我們制造的機(jī)器是光刻工具，生產(chǎn)每個(gè)人都需要的芯片。目前臺(tái)積電、三星、和英特爾是我們的三大客戶。
問(wèn)：ASML 為該領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者，具備哪些要素？顯然有入門障礙，如前期成本和技術(shù)技能。但為什么其他公司不能復(fù)制？ 答：ASML 根植于荷蘭文化，公司的決心、工程師的組成、管理層和客戶是成為領(lǐng)導(dǎo)者的因素。 荷蘭人口雖然只有1,700 萬(wàn)，但公民都受過(guò)高等教育。ASML 擁有許多博士和碩士學(xué)位員工，且公司非常國(guó)際化，餐廳可聽(tīng)到各種語(yǔ)言交談，包括中文、俄文、東歐文、西班牙文、義大利文、德文等。 因國(guó)際化特性，員工被公司文化吸引，這非常重要，將使公司注重結(jié)果，且由技術(shù)帶動(dòng)的發(fā)展容易實(shí)現(xiàn)。公司高階領(lǐng)導(dǎo)人都擁有物理學(xué)博士學(xué)位或物理學(xué)家學(xué)位，在ASML 扮演關(guān)鍵角色。他們幫助ASML 透過(guò)物理學(xué)常識(shí)發(fā)展特殊設(shè)備機(jī)械，包括提供先進(jìn)芯片使用的EUV光刻機(jī)，這是ASML 成為領(lǐng)導(dǎo)者的關(guān)鍵之一。
問(wèn)：ASML 何時(shí)開(kāi)始考慮發(fā)展EUV？ 答：大概始于2000年，公司決定大量開(kāi)發(fā)與生產(chǎn)光刻機(jī)。當(dāng)時(shí)日本廠商沒(méi)有做，因覺(jué)得EUV 系統(tǒng)非常復(fù)雜，且無(wú)法確保EUV 設(shè)備100% 起作用。 ASML有德國(guó)合作伙伴蔡司（ZEISS），生產(chǎn)光學(xué)系統(tǒng)為主，歷史可追溯到1850 年。ASML 與蔡司合作，蔡司專門為ASML 制造光學(xué)系統(tǒng)。ASML 也為蔡司許多開(kāi)發(fā)提供資金，因此蔡司只能出售半導(dǎo)體相關(guān)光學(xué)系統(tǒng)給ASML。ASML還收購(gòu)了美國(guó)圣地亞哥Cymer，這是使EUV 發(fā)揮作用的另一家關(guān)鍵廠商。
問(wèn)：ASML 如何將產(chǎn)品推廣到市場(chǎng)，且之后生產(chǎn)出符合需求和規(guī)格的產(chǎn)品？ 答：從早期開(kāi)發(fā)階段開(kāi)始，兩者是相互的?？蛻舨捎肁SML 早期設(shè)備，可靠性不高，這些機(jī)器有50% 時(shí)間是停機(jī)狀態(tài)，卻能提升生產(chǎn)芯片所需的功能。如果客戶提升芯片生產(chǎn)，或生產(chǎn)更小的芯片，就必須選擇ASML 的機(jī)器，但當(dāng)時(shí)這些機(jī)器不是必要設(shè)備。 [敏感詞]臺(tái)EUV 于2010 年送交三星，2011 年送交臺(tái)積電，這些都是早期機(jī)器。ASML 經(jīng)歷許多研發(fā)，且也讓客戶知道ASML 長(zhǎng)期參與客戶開(kāi)發(fā)產(chǎn)品的過(guò)程，讓他們對(duì)我們?cè)O(shè)備有信心。對(duì)最早期的客戶，ASML 將開(kāi)發(fā)工具放在客戶端，并物理上與客戶共同開(kāi)發(fā)技術(shù)，互相合作的基礎(chǔ)上，開(kāi)發(fā)出達(dá)到客戶需求的產(chǎn)品。
問(wèn)：可說(shuō)明先進(jìn)制程7nm、5nm、3nm發(fā)展?fàn)顩r嗎？還有先進(jìn)制程技術(shù)的轉(zhuǎn)移狀態(tài)？ 答：大規(guī)模生產(chǎn)[敏感詞]制程技術(shù)是5nm節(jié)點(diǎn)，是臺(tái)積電和三星目前的技術(shù)。英特爾5nm制程節(jié)點(diǎn)落后，甚至7nm制程節(jié)點(diǎn)也沒(méi)有大規(guī)模生產(chǎn)。必須注意的是，因英特爾有更高等級(jí)的設(shè)計(jì)規(guī)則，因此英特爾7nm節(jié)點(diǎn)相當(dāng)于臺(tái)積電和三星的5nm節(jié)點(diǎn)。相關(guān)技術(shù)并非完全一模一樣，很難說(shuō)哪家產(chǎn)品較優(yōu)異。 客戶轉(zhuǎn)向更高級(jí)制造流程，一般所需時(shí)間約5 年。ASML 會(huì)與客戶相互發(fā)展目標(biāo)，雖無(wú)法透露細(xì)節(jié)，不過(guò)大致上是規(guī)劃產(chǎn)品，然后獲得董事會(huì)許可開(kāi)發(fā)。一旦產(chǎn)品開(kāi)發(fā)成功進(jìn)入量產(chǎn)階段，出口地點(diǎn)不是受管制國(guó)或地區(qū)，預(yù)計(jì)2 年就會(huì)運(yùn)交量產(chǎn)型產(chǎn)品設(shè)備。
問(wèn)：您一定常被問(wèn)到，且目前情況會(huì)加劇的這問(wèn)題：對(duì)摩爾定律到極限有什么看法？ 答：許多人說(shuō)摩爾定律失效或減速，但我認(rèn)為沒(méi)有，也沒(méi)有減速。就ASML的看法，摩爾定律可能還會(huì)再延續(xù)10 年，甚至更長(zhǎng)。且芯片面積微縮未來(lái)還可持續(xù)至少10年。 人們談?wù)摰亩询B芯片的做法，就是所謂的3D整合，臺(tái)積電和三星對(duì)此也進(jìn)行了很多討論。ASML 的看法，雖然3D 整合正在發(fā)生，但2D 平面芯片面積微縮仍至少可持續(xù)10年。為此目標(biāo)，ASML 下一代EUV光刻設(shè)備也積極開(kāi)發(fā)。
問(wèn)：ASML 是否考慮投資機(jī)器學(xué)習(xí)或5G 標(biāo)準(zhǔn)，這將影響市場(chǎng)需求嗎？對(duì)ASML 來(lái)說(shuō)是否太下游？ 答：這距離不算太遠(yuǎn)，因蘋(píng)果、三星、高通等都在生產(chǎn)5G芯片。華為進(jìn)入實(shí)體清單，因此市場(chǎng)位置被小米和其他中國(guó)品牌接收，高通通過(guò)三星5nm制程生產(chǎn)的高階芯片，目前進(jìn)入大量生產(chǎn)，ASML 也在享受美好成果。
問(wèn)：您對(duì)地緣政治有什么看法？ 答：我不是發(fā)言人，但ASML 遵守所有法律。如果我們機(jī)器一部分是美國(guó)制造，且有人列入實(shí)體清單，我們就必須遵守美國(guó)出口法令。 ASML 美國(guó)公關(guān)經(jīng)理Brittney Wolff 補(bǔ)充，這是ASML 必須非常認(rèn)真考慮的事，因?yàn)樵谠S多國(guó)家地區(qū)都有業(yè)務(wù)。但ASML 在任何地方發(fā)展業(yè)務(wù)時(shí)都遵守當(dāng)?shù)胤钜?guī)定，且從來(lái)沒(méi)有遇到任何挑戰(zhàn)。
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