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- 更新日期: 2022-03-17
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MEMS是Micro Electro Mechanical System的縮寫,簡稱微機電系統(tǒng),是按功能要求在芯片上把微電路和微機械集成于一體的系統(tǒng)。MEMS基于光刻、腐蝕等傳統(tǒng)半導體技術,融入超精密機械加工,并結合力學、化學、光學等學科知識和技術基礎,使得一個毫米或微米級的MEMS具備精確而完整的機械、化學、光學等特性結構。MEMS產(chǎn)品主要可以分為MEMS傳感器和MEMS執(zhí)行器,其中傳感器是用于探測和檢測物理、化學、生物等現(xiàn)象和信號的器件,而執(zhí)行器是用于實現(xiàn)機械運動、力和扭矩等行為的器件。 圖